Peralatan Penggilingan Silikon Karbida: Pilar Manufaktur Presisi

Dalam bidang manufaktur modern berteknologi tinggi, silikon karbida (SiC), sebagai senyawa anorganik yang penting, telah menarik banyak perhatian karena sifat fisik dan kimianya yang unik. SiC memiliki karakteristik kekerasan tinggi, ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi, frekuensi tinggi, tekanan tinggi dan konsumsi energi rendah, dan banyak digunakan di berbagai bidang seperti mikroelektronika, dirgantara, peralatan medis, dan LED berdaya tinggi. Namun, untuk sepenuhnya memanfaatkan potensi material SiC, diperlukan presisi tinggi dan efisiensi tinggi Peralatan penggilingan silikon karbida sangat diperlukan.

Prinsip kerja peralatan penggilingan SiC terutama mencakup langkah-langkah seperti memuat wafer, penggilingan, pemolesan, pembersihan dan pengeringan, dan transmisi wafer. Wafer SiC yang akan diproses dimasukkan ke perangkat penjepit peralatan untuk memastikan bahwa wafer mempertahankan posisi dan postur stabil selama pemrosesan. Dengan memutar cakram atau kepala gerinda, lembaran gerinda atau cairan gerinda bersentuhan dengan permukaan wafer, dan gesekan mekanis serta korosi kimia dari partikel abrasif digunakan untuk menghilangkan bagian tidak beraturan dan lapisan oksida pada permukaan wafer. wafernya.

Berdasarkan penggilingan, permukaan wafer dipoles lebih lanjut untuk menghilangkan goresan dan lubang kecil yang dihasilkan selama proses penggilingan, menjadikan permukaan wafer lebih halus dan rata. Setelah proses pemolesan selesai, permukaan wafer dibersihkan dan dikeringkan menggunakan unit pembersih untuk menghilangkan sisa cairan penggilingan dan kontaminan partikulat untuk menjamin kebersihan permukaan wafer.

Karakteristik teknis peralatan penggilingan SiC terutama tercermin dalam pemrosesan presisi tinggi, produksi efisiensi tinggi, dan perlindungan lingkungan serta penghematan energi. Dengan pengurangan terus-menerus pada node proses sirkuit terpadu, persyaratan kualitas permukaan wafer juga semakin tinggi, sehingga peralatan penggilingan SiC memerlukan akurasi dan stabilitas pemrosesan yang lebih tinggi. Untuk meningkatkan efisiensi produksi dan mengurangi biaya produksi, peralatan penggilingan SiC perlu mencapai kecepatan pemrosesan yang lebih efisien dan batch produksi yang lebih besar. Dengan meningkatnya kesadaran lingkungan dan ketegangan sumber daya energi, peralatan penggilingan SiC perlu lebih memperhatikan perlindungan lingkungan dan desain hemat energi untuk mengurangi timbulan limbah dan konsumsi energi.

Peralatan penggilingan SiC memiliki beragam aplikasi di bidang manufaktur semikonduktor, terutama di bidang teknologi tinggi seperti manufaktur chip, komponen optik, dan chip LED. Ini memainkan peran penting. Celah pita transparansi dan sifat fisik SiC yang tinggi menjadikannya bahan yang ideal untuk pembuatan LED berdaya tinggi, dioda laser, fotodetektor, sel surya, dan perekam UV.

Dengan pesatnya penetrasi material SiC pada kendaraan listrik, aplikasi industri, dan komunikasi 5G, ukuran pasar perangkat listrik SiC diperkirakan akan tumbuh secara signifikan. Menurut Yole, sebuah perusahaan riset dan konsultasi semikonduktor, pada tahun 2028, ukuran pasar perangkat listrik SiC akan mencapai hampir US$9 miliar, dimana aplikasi otomotif dan industri merupakan struktur aplikasi hilir utama, masing-masing menyumbang 74% dan 14%. Tren ini akan mendorong terus meningkatnya permintaan peralatan penggilingan SiC.